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DJM-300系列太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡,選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件,配有超大視場(chǎng)目鏡、落射照明器、平場(chǎng)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡,是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、太陽(yáng)能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為工業(yè)金相顯微鏡使用。
太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡DJM-300C
一、DJM-300C太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡的特點(diǎn)和用途:
DJM-300系列太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡,選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件,配有超大視場(chǎng)目鏡、落射照明器、平場(chǎng)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡,是針對(duì)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、太陽(yáng)能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級(jí)工業(yè)金相顯微鏡使用??蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)太陽(yáng)能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。系統(tǒng)配置了優(yōu)質(zhì)無(wú)限遠(yuǎn)光路系統(tǒng)、三目透反射顯微鏡DJM-300C、500萬(wàn)高清晰數(shù)字?jǐn)z像頭及圖像測(cè)量管理軟件,可對(duì)太陽(yáng)能電池板圖像進(jìn)行檢查、拍照、測(cè)量、編輯和保存輸出等多種操作。是太陽(yáng)能電池硅片檢查的理想儀器。
性能特點(diǎn):
1、采用了較先進(jìn)的光學(xué)顯微鏡與現(xiàn)代成像分析融為一體的圖像測(cè)量技術(shù)。
2、可對(duì)太陽(yáng)能電池硅片進(jìn)行檢查、拍照、測(cè)量、保存、輸出等多種操作。
3、系統(tǒng)配置了優(yōu)質(zhì)無(wú)限遠(yuǎn)光路系統(tǒng)、大尺寸工作臺(tái)的三目透反射顯微鏡
4、可以測(cè)量太陽(yáng)能電池片裂紋長(zhǎng)度,崩邊長(zhǎng)度角度,印刷位移角度偏差
5、可以測(cè)量主、副柵線,背電極的寬度、均勻度、柵線間距離及副柵線
到電池邊的距離,柵線、斷線長(zhǎng)度,斷線缺損和變色的面積
6、可以檢查太陽(yáng)能電池表面顏色色差、絨面色斑亮斑,裂紋,崩邊,掉
角缺口,印刷偏移主副柵線、背電極的斷線,缺損,扭曲,變色等現(xiàn)象。
7、可對(duì)雜質(zhì)、殘留物成分進(jìn)行分析。雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜
質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等。
。
二、太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡DJM-300C的技術(shù)參數(shù):
型號(hào)
技術(shù)規(guī)格
目鏡筒
鉸鏈?zhǔn)饺跨R,傾斜30?,內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換 ;瞳距調(diào)節(jié)范圍 55-75mm,屈光度±5可調(diào)。
目鏡
WF10X(Φ22mm)
物鏡
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL 5X/0.12 工作距離:26.3mm
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片)PL L10X/0.25 工作距離:20.2mm
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片) PL L40X/0.60(彈簧) 工作距離:3.98 mm
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片) PL L60X/0.70(彈簧) 工作距離:3.18 mm
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無(wú)蓋玻片) PL L100X/0.85(彈簧) 工作距離:0.40 mm
落射照明系統(tǒng)
6V 30W鹵素?zé)?亮度可調(diào)
落射照明器帶 (黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃
視場(chǎng)光欄和孔徑光欄大小可調(diào)節(jié),可插入式起偏振片,可進(jìn)行偏光觀察和攝影
透射照明系統(tǒng)
阿貝聚光鏡 NA.1.25 可上下升降 。藍(lán)濾色片和磨砂玻璃
集光器,鹵素?zé)粽彰鬟m用(內(nèi)置視場(chǎng)光欄) ,6V 30W 鹵素?zé)?亮度可調(diào)
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
轉(zhuǎn)換器
五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位)
載物臺(tái)
雙層機(jī)械移動(dòng)式(尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm)
電腦攝像系統(tǒng)
1X攝影接口,標(biāo)準(zhǔn)C接口,
CK-500數(shù)字?jǐn)z像系統(tǒng),分辨率:2592X1944, 芯片尺寸:1/2.5", USB2.0連接, 圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,有多種圖像處理方式(詳細(xì)參數(shù)見CK-500攝像機(jī)介紹)
測(cè)量軟件功能:
1、可進(jìn)行圖像尺寸、亮度、增益、曝光、RGB顏色等多種處理方法。
2、當(dāng)前圖像放大、縮小、剪切、背景等設(shè)置。
3、對(duì)圖像中的點(diǎn)、線、圓、圓弧、角度、矩形及任何圖形幾何參數(shù)的測(cè)量。測(cè)量工具使用方便直觀。是顯微圖像測(cè)量與分析的有效工具。
三、系統(tǒng)的組成 :
1、太陽(yáng)能硅片檢測(cè)顯微鏡DJM-300 2、電腦適配鏡
3、彩色數(shù)字?jǐn)z像機(jī)CK-500 4、計(jì)算機(jī)(選購(gòu))