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DMM-1100C型透反射金相顯微鏡采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化的功能設(shè)計理念,可實現(xiàn)偏光觀察、明場觀察、反射暗場、透射觀察、反射微分干涉觀察功能。設(shè)計符合人機(jī)工程學(xué)要求的理想設(shè)計,低手位操作更方便舒適。適用于金相組織及表面形態(tài)的顯微觀察,本儀器適合電子、冶金、化工和儀器儀表行業(yè)用于觀察半透明或不透明的物資,適合對太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析等。
微分干涉顯微鏡(PDB檢測顯微鏡)DMM-1100C
一、DMM-110C透反射金相顯微鏡主要用途:
DMM-1100C型透反射金相顯微鏡采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化的功能設(shè)計理念,可實現(xiàn)偏光觀察、明場觀察、反射暗場、透射觀察、反射微分干涉觀察功能。設(shè)計符合人機(jī)工程學(xué)要求的理想設(shè)計,低手位操作更方便舒適。適用于金相組織及表面形態(tài)的顯微觀察,本儀器適合電子、冶金、化工和儀器儀表行業(yè)用于觀察半透明或不透明的物資,適合對太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析等。
二、DMM-110C透反射金相顯微鏡的主要特點:
1、采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),提供卓越的光學(xué)性能,配無限遠(yuǎn)長工作距離物鏡,超寬目鏡觀察筒及φ22mm大視野目鏡.
2、低手位操作,降低長時間操作時的疲勞,儀器主體采用全白噴漆,美觀大方,采用內(nèi)六角螺釘固緊儀器連接部分,無任何裸露在外的螺釘.
3、三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光、反射、透射、暗場、微分干涉觀察,可進(jìn)行100%透光攝影.
4、高像素數(shù)字成像系統(tǒng),電腦顯示成像真實清晰,多種攝像機(jī)和功能軟件可供選擇.
5、超低位粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動格值:2μm,帶鎖緊限位裝置,防止鏡頭碰觸樣品和載物臺自動下滑.
6、微分干涉相襯觀察時圖像清晰,干涉色均勻,具有較強(qiáng)的浮雕感.
三、DMM-1100C透反射金相顯微鏡技術(shù)參數(shù)及配置:
名 稱 |
參數(shù)規(guī)格 |
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觀察鏡筒 |
鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒,30度傾斜,100%通光攝影。瞳距調(diào)節(jié)范圍:50-75mm,視度可調(diào) |
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目鏡 |
大視野目鏡WF10X(Ф22mm) |
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大視野目鏡WF15X(Ф16mm) |
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大視野目鏡WF20X(Ф12mm) |
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WF10X(Ф22mm)大視野分劃目鏡(0.10mm/格) |
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無限遠(yuǎn)長工作距離平場消色差物鏡 |
明視場/暗視場金相物鏡 |
PL L40X/0.60 BD 工作距離:3.0 mm |
微分干涉物鏡(DIC) |
LMPlan5X/0.12 DIC 工作距離:18.2 mm |
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LMPlan10X/0.25DIC 工作距離:20.2 mm |
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LMPlan20X/0.35DIC 工作距離:6.0mm |
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調(diào)焦系統(tǒng) |
粗微動同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動格值:2μm,左調(diào)焦帶鎖緊裝置,右調(diào)焦帶限位裝置 |
載物臺 |
雙層機(jī)械式移動載物臺,外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍75mmX50mm. |
載物板 |
透光玻璃載物板,大小:97*76mm |
轉(zhuǎn)換器 |
五孔內(nèi)彎式物鏡轉(zhuǎn)換器(滾珠內(nèi)定位) |
偏光裝置 |
插入式起偏、檢偏裝置,可360度旋轉(zhuǎn)檢偏鏡,起偏和檢偏均可移出光路 |
DIC調(diào)節(jié)系統(tǒng) |
適用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X DIC物鏡 |
暗場裝置 |
推拉式暗場觀察拉桿,快速明視場暗視場觀察轉(zhuǎn)換 |
落射照明系統(tǒng) |
12V50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào) |
落射式柯勒照明系統(tǒng),內(nèi)置視場光欄,孔徑光欄調(diào)節(jié) |
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可拆卸式燈箱,雙引腳插入式燈座,燈箱外有燈絲位置移動旋鈕 |
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轉(zhuǎn)盤式藍(lán)、黃、綠、磨砂濾色片組 |
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透射照明系統(tǒng) |
12V30W 鹵素?zé)?亮度可調(diào) |
阿貝聚光鏡NA.1.25,可調(diào)孔徑光欄,中心可調(diào),可上下升降 |
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集光器:可調(diào)視場光欄 |
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藍(lán)色和磨砂玻璃濾色片 |
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電腦攝像系統(tǒng) |
獨立攝像通道,標(biāo)配0.5X攝影接口, 1000萬像素數(shù)字成像系統(tǒng), 傳感器廠商: Micron(鎂光) 傳感器類型MT9J001 掃描模式:逐行 芯片尺寸 1/2.3" 像素點: 1.67×1.67(μm) G 靈敏度:455 mV 最大分辨率: 3664×2748 濾光片: R, G, B 濾光片 鏡頭接口:標(biāo)準(zhǔn)C接口 最大幀率: 3fps(3664 × 2748) 25fps (916 × 680) 動態(tài)范圍: 56dB 感光度 0.44V/Lux S(550nm) 信噪比: 40.5dB 曝光控制:自動、手動 白平衡:自動、手動 數(shù)據(jù)接口USB2.0/480Mb/s USB 電纜:1.8米 |
四、系統(tǒng)的組成 :
1、金相顯微鏡DMM-1100 2、0.5倍電腦適配鏡
3、數(shù)字?jǐn)z像器CK-1000 4、計算機(jī)(選購)
五、儀器選購件:
1、無限遠(yuǎn)長距平場消色差明暗場物鏡: PLL50X; PLL60X ;PLL80X;PL100X
2、攝影接口:0.5X攝像接口
3、攝像機(jī): CK-1600像素攝像機(jī),進(jìn)口CCD芯片攝像系統(tǒng)
4、數(shù)碼相機(jī)拍照系統(tǒng):包含數(shù)碼相機(jī)及專業(yè)相機(jī)接口
5、金相分析軟件DM-3000